压电表示压电元件（Piezoelectric　Element、Piezoelectric Device），压电元件是指通过施加力（压力）产生电压（压电效应），或与之相反，通过施加电压产生变形（逆压电效应）的元件。

压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时，（+）正离子、（-）负离子的位置会移动，产生（+）和（-）电荷的偏移（电极化），从而产生电压。

利用压电效应的主要用途是传感器，利用逆压电效应的主要用途是执行机构。

压电材料大致分为单晶、陶瓷、薄膜等。

罗姆采用的是使用锆钛酸铅（PZT）的薄膜压电。 PTZ取自元素符号（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）的首字母，压电性能非常强，称得上是压电元件的主角。

大致将厚度约为几μm的叫作薄膜压电（压电薄膜），几十μm以上的叫作块体压电（厚膜压电）。 利用薄膜压电可以实现元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。

生成薄膜PZT的方法有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。下表汇总了其各自的特点。

罗姆的薄膜压电MEMS代工为实现融合自有薄膜压电和LSI微细加工技术的小型、节能、高性能产品，提供从试制、开发到量产的全程支持。

压电(Piezo)：指压电元件（piezoelectric element、piezoelectric device）

压电效应：通过施加力（压力）产生电压的现象

逆压电效应：通过施加电压产生变形的现象

压电元件：利用压电效应、逆压电效应的零件、元件

传感器：利用科学原理将现象和信息等转换为电信号等的装置

执行机构：将电等能源转换为机械运动，用于运行设备的驱动装置

离子：指因电子过剩或缺失而携带电荷的原子

压电材料：表现压电性的结晶性物质的统称

压电单晶：材料内部的晶体结构均匀连续的压电材料

压电陶瓷：拥有晶粒结构或畴壁结构的压电体

晶粒结构：在多晶体中，2个以上的小晶体之间存在的界面

畴壁结构：晶体内存在极化方向不同的边界的结构

极化：置于电场或磁场时产生正负电化，或是产生磁极的现象

PZT：指锆钛酸铅（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1）

溅射：使高能粒子撞击金属表面，利用飞出的原子进行制膜的方法

CSD：通过涂布、烧成金属有机酸盐或化合物溶液形成薄膜的方法

溶胶凝胶法：CSD的一种。通过对溶胶状态的液体进行加热、烧成来得到薄膜的方法

溶胶状态：以液体为分散介质的胶体（例：肥皂水、浆糊、蛋清、牛奶、蛋黄酱等）

凝胶状态：溶胶状态丧失流动性后的状态

MOCVD：有机金属气相沉积法，使用有机金属和气体作为原料的晶体生长方法

占板面积：占有面积，这里指设置装置时使用的面积

压电体：指通过施加应力产生极化（电压）的介电体

热释电体：即使不从外部施加电场，也可以自发极化的压电体

铁电体：从外部施加电场可以使极化方向反转的热释电体

薄膜压电：指压电材料的厚度约为几μm的压电元件

块体压电：指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 是利用微细加工技术，将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。